imec 与 TEL 扩展战略合作伙伴关系, 共促后 2nm 尖端制程发展

IT之家7月7日消息，比利时校际微电子研究中心imec与日本半导体设备龙头企业TEL当地时间6月16日宣布深化双方战略合作伙伴关系，启动新一期五年联合研发联盟。

imec与TEL的合作已有30年历史，覆盖光刻、逻辑、存储和3D集成等关键领域，在HighNAEUV光刻、蚀刻、湿法加工和沉积等方面取得了重大突破，双方联合研发的EUV光刻胶涂层轨道技术显著优化了缺陷率，在EUV技术生产导入中发挥了重要作用。

而双方新一阶段的合作将聚焦先进半导体在2nm名义节点后的进一步尺寸微缩，目标通过材料系统的优化和缺陷率的改进提升性能，为下一代CFET结构半导体提供先进沉积与蚀刻解决方案。此外两方还将继续一道探索未来半导体工艺的可持续发展。